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产品介绍：◆ 设备外形尺寸 630(W)×650(D)×420(H)mm ◆ 仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃，约10升) Φ215 × 300(L) mm ◆ 电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极) 180(W) ×210(D) mm ◆ 等离子发生器(韩国KM) 频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配 ◆ 控制系统 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统 德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h) SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器 ◆ 压力控制 PID闭环自动稳压控制 ◆ 气路系统 2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路
产品优势：台式小型机，PLC人机自动控制，内部无电极