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产品介绍： ◆ 外形尺寸 570(W)×420(D)×740(H)mm ◆ 仓体结构(不锈钢，约20升) 420(W)×270(D)×170(H)mm ◆ 电极面积 250(W) ×190(D) mm,3层 ◆ 清洗模式 RIE or DP模式自动转换 ◆ 等离子发生器(韩国KM) 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配 ◆ 控制系统 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件， 性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统 德国莱宝(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h) 进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器 ◆ 压力控制 PID闭环自动稳压控制 ◆ 气路系统 2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路
产品优势：台式小型机，PLC人机自动控制，简单易用