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产品介绍：◆ 外形尺寸(不包括报警灯) 850(W)×1000(D)×1850(H)mm ◆ 仓体结构(约200升) 550(W)×700(D)×530(H)mm ◆ 电极面积 550(W)×700(D)×530(H)mm，14层 ◆ 等离子发生器(MF) 频率40KHZ,功率0-3KW连续调节,自动阻抗匹配 ◆ 控制系统 有逻辑电路半自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统 日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) 进口气动角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管， 德国英福康Inficon高精度真空计、规管 ◆ 处理气体 两路工艺气体配置(氩气、氧气）美国高精度浮子流量计、针阀， 美国世伟洛克Swagelok不锈钢抛光气体管
产品优势：立式大型机，逻辑电路半自动控制，数字面板显示，操作维护简单